| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM OF CUBIC BORON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03237096(A) |
申请公布日期 |
1991.10.22 |
| 申请号 |
JP19900032973 |
申请日期 |
1990.02.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KIMOTO TSUNENOBU;TOMIKAWA TADASHI;FUJITA NOBUHIKO |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/38 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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