发明名称 THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH03236464(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 JP19900033086 申请日期 1990.02.14
申请人 RICOH CO LTD 发明人 TANIGAWARA SHINJI;OTA WASABURO
分类号 C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
地址