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发明名称 METHOD FOR MAKING PATTERNED THIN FILM
摘要
申请公布号 US5059454(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 US19890343904 申请日期 1989.04.26
申请人 FLEX PRODUCTS, INC. 发明人 TODD, DAVID W.;BROWN, LINDSEY;PHILLIPS, ROGER W.;OVERSHINER, ELLIOT E.
分类号 C23F1/00;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/04;H05K3/06 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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