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发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING QUINONE DIAZIDE SULFONIC ACID ESTER OF A PHENOL COMPOUND AND AN ALKALI SOLUBLE RESIN
摘要
申请公布号 US5059507(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 US19890364123 申请日期 1989.06.12
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 UETANI, YASUNORI;HANABATA, MAKOTO;NAKANISHI, HIROTOSHI;KUWANA, KOJI;HANAMOTO, YUKIO;OI, FUMIO
分类号 G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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