发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03237090(A) 申请公布日期 1991.10.22
申请号 JP19900034081 申请日期 1990.02.15
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SUZUKI TAKASHI;SHIBATA MASATOMO;INADA TOMOKI
分类号 C30B15/14;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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