发明名称 |
PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03237090(A) |
申请公布日期 |
1991.10.22 |
申请号 |
JP19900034081 |
申请日期 |
1990.02.15 |
申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKASHI;SHIBATA MASATOMO;INADA TOMOKI |
分类号 |
C30B15/14;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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