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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03235348(A) 申请公布日期 1991.10.21
申请号 JP19900029673 申请日期 1990.02.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUKEGAWA KAZUO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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