发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03234034(A) 申请公布日期 1991.10.18
申请号 JP19900030513 申请日期 1990.02.09
申请人 SHARP CORP 发明人 UEDA JUN
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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