发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03234042(A) 申请公布日期 1991.10.18
申请号 JP19900030584 申请日期 1990.02.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYASHITA NAOTO;SONOBE HIRONORI;FURUYAMA MITSUTOSHI;TAKAHASHI KOICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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