| 摘要 |
Un système de faisceau d'électrons comprend une enceinte de vide (10), une source d'électrons (3) située à l'intérieur de l'enceinte, et une pompe passive (8) située à l'intérieur de l'enceinte ou en communication avec celle-ci destinée à pomper les gaz se trouvant dans l'enceinte. Une pompe active supplémentaire (19) est couplée à l'enceinte de vide et elle fonctionne simultanément avec la pompe passive afin de pomper dans l'enceinte les gaz non retirés, ou non retirés efficacement, de celle-ci par ladite pompe passive. |
