发明名称 FORMING METHOD FOR PATTERN OF JOSEPHSON JUNCTION ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03233982(A) 申请公布日期 1991.10.17
申请号 JP19900028549 申请日期 1990.02.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA KOJI;MORI HIROYUKI;HATANO YUJI;YANO SHINICHIRO;HIRANO MIKIO
分类号 H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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