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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03233961(A) 申请公布日期 1991.10.17
申请号 JP19900028455 申请日期 1990.02.09
申请人 CANON INC 发明人 NAKAYAMA JUN
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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