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发明名称
HEAT TREATING UNIT AND DRYING METHOD FOR FUNCTIONAL THIN FILM USING IT
摘要
申请公布号
JPH03233885(A)
申请公布日期
1991.10.17
申请号
JP19900004824
申请日期
1990.01.12
申请人
MITA IND CO LTD
发明人
YOSHIDA TAKESHI
分类号
G03G5/05;F26B3/30;H05B3/10;H05B3/14;H05B3/42;H05B3/62
主分类号
G03G5/05
代理机构
代理人
主权项
地址
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