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发明名称 METHODE ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERELEMENTES, WOBEI IN EINEM POSITIVEN PHOTOLACK AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT EIN NEGATIVES BILD ERZEUGT WIRD.
摘要
申请公布号 DE3772825(D1) 申请公布日期 1991.10.17
申请号 DE19873772825 申请日期 1987.04.22
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VOLLENBROEK, FRANCISCUS ANTONIUS;NIJSSEN, WILHELMUS PETER MARTINUS;GEOMINI, MARCELLINUS JOSEPH HENRIKUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G03C1/00;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/22;G03F7/38 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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