SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

摘要

Microscope à balayage à effet tunnel comportant un montage de châssis avec des éléments de châssis supérieurs (36) reliés à des éléments de châssis inférieurs (38) par une structure d'isolation contre les vibrations provenant de l'extérieur (42), un carrousel d'échantillons (10) conçu de façon à pouvoir recevoir au moins un échantillon devant être analysé et un carrousel de sondes (12) conçu de façon à recevoir au moins un module de sonde (22) englobant une pointe de sonde (27). Les carrousels d'échantillons et de sondes (10, 12) sont reliés aux éléments de châssis supérieurs (36) et des actionneurs d'échantillons et de sondes (14, 16) servent à faire tourner les carrousels. Un mécanisme de mise en place est utilisé pour maintenir une distance d'analyse entre l'extrémité de la sonde et le carrousel d'échantillons. Une unité de commande (70) régit le fonctionnement global des actuateurs pour qu'ils fassent tourner les carrousels ainsi que le fonctionnement du mécanisme de mise en place pour maintenir la distance d'analyse.