发明名称 VERFAHREN ZUR THERMISCH-ABTRAGENDEN BEARBEITUNG VON MEHRSCHICHT-FESTKOERPERSYSTEMEN
摘要
申请公布号 DD295048(A5) 申请公布日期 1991.10.17
申请号 DD19900341450 申请日期 1990.06.08
申请人 TECHNISCHE HOCHSCHULE ILMENAU,DD 发明人 HUMKE,RALF,DD;ZEHNER,BERND-UWE,DD
分类号 B23K26/00;H01L21/428;(IPC1-7):H01L21/428 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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