| 发明名称 |
VACUUM TREATING DEVICE AND FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD USING THIS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03232968(A) |
申请公布日期 |
1991.10.16 |
| 申请号 |
JP19900225388 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KISHIMOTO SATOSHI;KOBAYASHI HIDE;OKAMOTO AKIRA;SHIMAMURA HIDEAKI;TSUJIKU SUSUMU;NISHITANI EISUKE;YONEOKA YUJI |
| 分类号 |
C23C14/54;H01L21/00;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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