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经营范围
发明名称
PHOTOANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03232223(A)
申请公布日期
1991.10.16
申请号
JP19900332670
申请日期
1990.11.29
申请人
RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON
发明人
SATO YUKITO;OTAKA KOICHI;HINO TAKESHI;IRINODA MITSUGI;KUMANO KATSUFUMI
分类号
H01L21/20;H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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