发明名称 PHOTOANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03232223(A) 申请公布日期 1991.10.16
申请号 JP19900332670 申请日期 1990.11.29
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 SATO YUKITO;OTAKA KOICHI;HINO TAKESHI;IRINODA MITSUGI;KUMANO KATSUFUMI
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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