Vorrichtung zum Beheizen eines Substratträgers (5) mit Hilfe einer elektrischen Widerstandsheizung in einer Anlage zur Behandlung von Substraten (7) unter Vakuum, wobei das Heizelement (7) direkt am Substratträger (5) angeordnet und über korrespondierende Kontakte - beispielsweise einen Kontaktstift (2) mit einer Kontaktbuchse (6) - elektrisch mit einer an der Konsole (1) vorgesehenen Stromversorgung verbindbar ist, wozu der Substratträger (5) vorzugsweise auf der Oberseite der Konsole (1) mit einer nicht näher definierten Hubvorrichtung absetzbar ist. <IMAGE>
