发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM AND EVAPORATION SOURCE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03232962(A) 申请公布日期 1991.10.16
申请号 JP19900029909 申请日期 1990.02.09
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATO MASAKAZU;KANAZAWA JUNICHI;SEKIYA TAKEYUKI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利