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发明名称 LYTHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号 SU1473568(A1) 申请公布日期 1991.10.15
申请号 SU19874175814 申请日期 1987.01.06
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 BEDELBAEVA G.E.,SU;KOLOBOV A.V.,SU;LYUBIN V.M.,SU;LYUBINA I.V.,SU;PETKOV K.,BG;SEDYKH A.S.,SU
分类号 G03F7/26 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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