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发明名称 PROBE CARD AND PROBE DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH03231438(A) 申请公布日期 1991.10.15
申请号 JP19900026942 申请日期 1990.02.06
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAZAKI KOJI;MITO TSUNEMI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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