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发明名称 INSPECTING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03230543(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900026624 申请日期 1990.02.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO IKUO
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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