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发明名称 ETCHING LIQUID FOR SEMICONDUCTOR AND ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR USING SAME
摘要
申请公布号 JPH03230527(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900026311 申请日期 1990.02.06
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE NORIHISA
分类号 H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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