发明名称 MANUFACTURE OF CONNECTION HOLE IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03230525(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900025885 申请日期 1990.02.05
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 TOIDA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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