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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH03230463(A)
申请公布日期
1991.10.14
申请号
JP19900023676
申请日期
1990.02.02
申请人
NEC CORP
发明人
HOSOKAWA KAZUNORI
分类号
H01J37/08;H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
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