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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03229411(A) 申请公布日期 1991.10.11
申请号 JP19900024476 申请日期 1990.02.05
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MIYAGI MASAMI;FUNAKOSHI NORIHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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