发明名称 SURFACE MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH03229103(A) 申请公布日期 1991.10.11
申请号 JP19900025857 申请日期 1990.02.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KURODA TATSUAKI;WATANABE MIYOKO
分类号 G01B7/34;G01Q10/04;G01Q60/10;G05D3/00;H01J37/20;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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