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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03229413(A)
申请公布日期
1991.10.11
申请号
JP19900025648
申请日期
1990.02.05
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
HOSOOKA SATORU
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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