发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE CLIVAGE D'UNE PLAQUETTE DE SILICIUM |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2629008(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.11 |
申请号 |
FR19880003794 |
申请日期 |
1988.03.23 |
申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CLAUDE CORNU;ANDRE POINARD |
分类号 |
B28D5/00;(IPC1-7):B28D5/04 |
主分类号 |
B28D5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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