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发明名称 PRODUCTION OF INSULATING FILM AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THIS INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH03229871(A) 申请公布日期 1991.10.11
申请号 JP19900023323 申请日期 1990.02.01
申请人 TOAGOSEI CHEM IND CO LTD 发明人 HARADA MASAYOSHI
分类号 C01B21/068;C23C16/30;C23C16/34;C30B25/00;H01L21/318 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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