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发明名称 METHOD OF STERILIZATION WASHING OF CIRCULATION ROUTE OF PURE WATER FOR WASHING IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03229416(A) 申请公布日期 1991.10.11
申请号 JP19900024916 申请日期 1990.02.02
申请人 ROHM CO LTD 发明人 SHIMIZU JOJI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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