| 发明名称 |
METHOD OF CONTROLLING INTERNAL STRESS OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03228347(A) |
申请公布日期 |
1991.10.09 |
| 申请号 |
JP19900021993 |
申请日期 |
1990.02.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FURUSAWA TAKEHARU;KASAI KENICHI;MATSUMOTO SHINZO;OIDA ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/00;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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