| 发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE-BASED SUBSTRATE AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03228885(A) |
申请公布日期 |
1991.10.09 |
| 申请号 |
JP19900022979 |
申请日期 |
1990.01.31 |
| 申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
OKAWA YOSHIHIRO;IKEDA SHIN;MIYAHARA KENICHIRO;ITO YOSHIAKI |
| 分类号 |
C04B41/87;C04B41/90;H01L23/15;H05K1/03;H05K3/38 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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