| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING WITH METAL MASK INTEGRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0397988(A3) |
申请公布日期 |
1991.10.09 |
| 申请号 |
EP19900105228 |
申请日期 |
1990.03.20 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY INC. |
发明人 |
GULLA, MICHAEL;SRICHAROENCHAIKIT, PRASIT |
| 分类号 |
G03F1/08;C23C18/20;C23C18/30;C23F1/00;C23F4/00;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H05K3/18;(IPC1-7):G03F7/40 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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