微波等离子体的产生方法和装置

摘要

微波等离子体的产生方法和装置。涉及到微波产生低温等离子体的技术，适用于薄膜加工和材料处理等。本发明在等离子体反应室和谐振腔外设置一对稀土永磁铁，在等离子体区形成横向“磁瓶”场，对带电粒子形成三维封闭约束，并产生电子回旋共振所需的磁场区域。由磁控管产生的微波能量直接耦合到谐振腔中使反应室中的气体离化形成等离子体。对多种气体包括反应气体，能在一个大气压到2×10^-4Torr气压下产生微波等离子体。

主权项

1、一种微波等离子体的产生方法，当气体进入反应室[4]中，气体中的自由电子受到外强磁场的约束，输入由磁控管[2]产生的微波能量后，电子在ECR共振区域产生电子回旋共振，并吸收微波能量使气体离化形成微波等离子体，其特征是所说的外强磁场是由放置在谐振腔[3]和反应室[4]外面的一对永磁铁产生的横向“磁瓶”场，电子在“磁瓶”场两端的ECR共振区[8]产生电子回流共振，所形成的微波等离子体被“磁瓶”场三维封闭地约束在反应室[4]的区域[9]中。