发明名称 Process for reducing the defect density in ultra-thin films
摘要
申请公布号 IE911066(A1) 申请公布日期 1991.10.09
申请号 IE19910001066 申请日期 1991.03.28
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 B05D1/20;B05D7/04;G02F1/361;(IPC1-7):G01N 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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