发明名称 FORMATION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH03228804(A) 申请公布日期 1991.10.09
申请号 JP19900021679 申请日期 1990.01.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KURODA KENICHI;KOJIMA KAZUYOSHI;HAMANAKA KOICHI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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