| 摘要 |
Bei einer Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats (1) mit Werkstoffen, mit Hilfe von Stromquellen (10, 10a), welche jeweils mit einer in einer evakuierbaren Beschichtungskammer (15a) angeordneten Elektroden (5 bzw. 5a) verbunden sind, die jeweils elektrisch mit einem Target (3, 3a) in Verbindung stehen, das zerstäubt wird und dessen zerstäubte Teilchen sich auf dem Substrat (1) niederschlagen, wozu in die Beschichtungskammer (15, 15a) ein Prozeßgas einbringbar ist, sind zur Verbesserung der Schicht (2) auf dem Substrat (1) die einzelnen Targets (3, 3a) in einem Winkel (α, α') zur Ebene des Substrats (1) gehalten, so daß sich über Längsachsen (l, l') bzw. die Hauptwanderungsrichtungen des Beschichtungsmaterials im Punkt (S) schneiden. <IMAGE>
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