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发明名称 A PROCESS FOR PRODUCING A NEGATIVE TONE RESIST IMAGE
摘要
申请公布号 EP0161476(B1) 申请公布日期 1991.10.09
申请号 EP19850104228 申请日期 1985.04.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ITO, HIROSHI;MACDONALD, SCOTT ARTHUR;MILLER, ROBERT DENNIS;WILLSON, CARLTON GRANT
分类号 G03F7/30;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
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