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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03227055(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 JP19900023182 申请日期 1990.01.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KUDO HITOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L27/08 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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