发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH03227525(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 JP19900023079 申请日期 1990.02.01
申请人 SONY CORP 发明人 TAJIMA KAZUHIRO;NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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