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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH03227517(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 JP19900022457 申请日期 1990.02.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UCHIDA HIROBUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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