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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH03227514(A)
申请公布日期
1991.10.08
申请号
JP19900022764
申请日期
1990.02.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TOMIKAWA MITSUHIRO;YAMAMOTO HIROHISA
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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