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发明名称
FORMING METHOD OF GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPH03227532(A)
申请公布日期
1991.10.08
申请号
JP19890272866
申请日期
1989.10.19
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
NOGAWA KAORU
分类号
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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