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发明名称 ATMOSPHERIC-PRESSURE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0364477(B2) 申请公布日期 1991.10.07
申请号 JP19860140342 申请日期 1986.06.18
申请人 SHINGIJUTSU JIGYODAN;MITSUBISHI MATERIARU KK;NISHIZAWA JUNICHI 发明人 SASA KOICHI;TOMIZAWA KENJI;NISHIZAWA JUNICHI
分类号 C30B15/00;C30B29/42;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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