| 发明名称 |
GLOW-DISCHARGE DECOMPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03226578(A) |
申请公布日期 |
1991.10.07 |
| 申请号 |
JP19900022984 |
申请日期 |
1990.01.31 |
| 申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
IWASAKI AKINORI;IKEUCHI MASAFUMI;HIGUCHI HISASHI |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/50;H01L21/205 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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