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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING THICKNESS OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03226573(A) 申请公布日期 1991.10.07
申请号 JP19900022844 申请日期 1990.01.31
申请人 SHIN MEIWA IND CO LTD 发明人 KITAGAWA YUJI
分类号 G02B5/28;C23C14/54 主分类号 G02B5/28
代理机构 代理人
主权项
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