发明名称 ELECTRON BEAM ACCELERATOR
摘要
申请公布号 JPH03226997(A) 申请公布日期 1991.10.07
申请号 JP19900020422 申请日期 1990.02.01
申请人 EBARA CORP 发明人 NAGAI KAZUTOSHI;NISHIMURA TATSUYA
分类号 G21K5/04;H01J37/06;H05H5/00 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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