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发明名称 MANUFACTURE OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH03225827(A) 申请公布日期 1991.10.04
申请号 JP19900018921 申请日期 1990.01.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAJIMA MITSUO
分类号 H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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