发明名称 FABRICATION MACHINE FOR CONTINUOUS MAGNETIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03225902(A) 申请公布日期 1991.10.04
申请号 JP19900020864 申请日期 1990.01.31
申请人 TOKIN CORP 发明人 YOKOTA HIROSHI
分类号 C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18;H01F41/20 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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